在使用油擴散泵和分子泵抽真空的過程中，真空腔室里殘留的氣體，80%以上是水汽、油氣和一些高沸點蒸汽。這種殘余氣體在高真空狀態(tài)下難以快速抽除。殘留氣體的存在不僅會影響真空度 ，還會污染生產實驗工件。

在真空度在10-1和10-5pa之間，水汽深冷捕集泵可以有效縮短抽真空時間，提高鍍膜品質。更快的抽氣速度，改善了真空度，提高產品質量，提高生產效率。在真空室或油擴散泵的泵口放置一個可快速達到-120℃以下的低溫裝置(水汽捕集盤管或低溫冷阱)，通過其表面低溫冷凝能力，將真空室中的殘余氣體迅速吸附在其表面，從而大大縮短抽真空時間(可縮短抽真空時間60-90%)， 獲得干凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個數(shù)量級，達到10-5Pa)。

VaporCold水汽深冷捕集泵，常見以下2種安裝和使用方式：

1、水汽深冷捕集泵常安裝在高閥與真空室之間，或在真空室中，或在卷繞涂層的上、下室中。非常適用于塑料低溫涂層、卷繞涂層等涂層材料放氣量大的場合。低溫盤管也需要加熱除霜功能 ，在每次開門破真空之前，使盤管的表面溫度恢復到常溫，以防止低溫盤管從大氣中捕集水汽，形成大量的冰霜，影響下一個鍍膜作業(yè)。

2、水汽深冷捕集泵放置在油擴散泵的泵口，高閥下方。它的主要作用是防止油氣返流，還可以加快抽氣速度，改善真空度。由于低溫冷阱部分處于真空狀態(tài)，不需要除霜功能。

長流儀器研發(fā)生產的VaporCold -135℃水汽深冷捕集泵，采用成熟的核心技術、可靠的設計方案、進口品牌制冷壓縮機及制冷配件、環(huán)?；旌现评鋭?、自動復疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便。其設計和制造與國際技術水平同步，性能指標達到甚至超過同類進口機型，可實現(xiàn)對進口機型的直接替換。

長流儀器提供完整的水汽捕集泵方案，幫助客戶提高生產效率、減少生產費用，改進制程表現(xiàn)，提高產品質量和產量。